基本信息

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文档摘要

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基于MEMS技术的虚拟操作单元：原理、实现与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，各领域对微型化、智能化设备的需求日益增长。微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术应运而生，它融合了微电子、精密机械、材料科学等多学科知识，将微型机械部件、传感器、执行器以及电子电路集成在一个微小的芯片上，实现了微型化、低功耗、高集成度和低成本的优势，为现代科技的发展带来了革命性的变化。MEMS技术的发展历程丰富而曲折，自20世纪60年代起源以来，经历了从微器件设想到微压力传感器问世，再到制造工艺不断改进和集成技术大力