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文档摘要

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精密微纳加工技术与设备选型高级考核试卷

一、单项选择题（每题1分，共30题）

1.精密微纳加工中，用于去除材料的主要方法是？

A.光刻

B.腐蚀

C.激光烧蚀

D.化学沉积

2.在微纳加工中，以下哪种材料常用于光刻胶的基底？

A.硅

B.石英

C.聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）

D.钛

3.精密微纳加工中，常用的电子束光刻设备是？

A.扫描电子显微镜（SEM）

B.原子力显微镜（AFM）

C.电子束光刻机（EBL）

D.激光干涉仪

4.在微纳加工中，以下哪种技术常用于图案转移？

A.电镀

B.离子注入

C.光刻

D.化学蚀刻

5.精密微纳加工中，用于提高加工精度的技术是？

A.干法蚀刻

B.湿法