前言

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资料简介

首先感谢您购买本产品!

本产品是汇川技术研制的一款真空组件，广泛应用于工业自动化行业，如手机，硅晶，面板，包

装，锂电以及半导体等行业，高响应、低能耗的性能为您带来设备的节能提效，且集成了稳压、

正负压可调、智能切换节能模式等多功能模块。

本手册介绍产品的选型，包括型号、尺寸、性能、适配件等一览表，符合认证及标准和订购指南

等信息。

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