基于MEMS的电磁激励谐振传感器：原理、设计与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下，传感器作为获取信息的关键部件，其性能的优劣对各领域的发展有着深远影响。随着微电子、微机械加工等技术的迅猛发展，微机电系统（Micro-ElectromechanicalSystems，MEMS）技术应运而生，并迅速成为全球研究的热点。MEMS技术是一种将微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路等集成在一块微小芯片上的技术，实现了微型机械加工工艺与半导体工艺的融合，具备体积小、重量轻、功耗低、成本低以及可批量生产等显著优势。

MEMS技术的发展历程可追溯到20世纪