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文档摘要

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基于低能电子的扫描探针刻蚀技术：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，纳米加工和器件制备技术作为推动众多领域进步的关键力量，一直是科研和工业界的焦点。随着电子设备不断向小型化、高性能化方向发展，对纳米级精度的加工和器件制备技术提出了更高的要求。低能电子扫描探针刻蚀技术作为一种极具潜力的纳米加工手段，正逐渐崭露头角，为纳米加工和器件制备领域带来了新的机遇和突破。

自20世纪80年代扫描探针显微镜（SPM）发明以来，纳米加工技术取得了长足的进步。SPM的出现使人们能够在原子、分子尺度上对物质进行观察和操控，为纳米加工提供了前所未有的精度和分辨率。其