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文档摘要

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纳米压印光刻技术产业化技术路线图与技术创新策略研究

一、纳米压印光刻技术产业化技术路线图

1.技术概述

2.技术路线

2.1原型设计与开发

2.1.1材料选择

2.1.2结构设计

2.1.3压印头设计

2.1.4工艺优化

2.2中试与批量生产

2.2.1中试

2.2.2批量生产

2.3产业化推广与应用

2.3.1市场调研

2.3.2市场拓展

2.3.3应用推广

3.技术创新策略

3.1加强基础研究

3.2提