高灵敏度平面型InGaAs短波红外探测器：原理、制备与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，短波红外探测器在众多领域中发挥着越来越重要的作用。短波红外波段（1-3μm）作为“大气透过窗口”之一，探测器工作在该波段能获得目标更多的辐射能量。相较于中长波红外探测，其对近室温目标的探测成像类似于可见光的反射式成像，拥有中长波红外探测缺少的细节分辨能力；同时又具备穿透烟雾进行成像等可见光探测不具备的能力，在军事、工业、安全监测、科学研究、航天等领域展现出巨大的应用潜力。

在军事领域，短波红外探测器可用于夜视、目标识别与跟踪等，能帮助士兵在低能见度环境下清晰地获取目标信息