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文档摘要

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半导体设备维护智能化升级后的设备维护与保养手册

一、半导体设备维护智能化升级后的设备维护与保养手册

1.1设备维护智能化升级背景

1.1.1智能化维护的优势

1.1.2设备维护智能化升级的意义

1.2智能化维护与保养体系构建

1.2.1设备状态监测

1.2.2预防性维护

1.2.3智能化故障诊断

1.2.4保养计划制定

1.3智能化维护与保养手册编制

1.3.1手册内容

1.3.2手册编制原则

1.3.3手册编制方法

二、智能化维护与保养体系的实施与优化

2.1设备状态监测系统的部署与运行

2.1.1传感器选型与安装

2.1.2数据采集与传输

2.1.3中央监控