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文档摘要

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原子层沉积的设备寿命与维护考核试卷

考生姓名：答题日期：得分：判卷人：

本次考核旨在评估考生对原子层沉积设备寿命与维护知识的掌握程度，包括设备的基本操作、常见故障排查、日常保养与定期维护等方面的理解与实践能力。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.原子层沉积（ALD）技术中，通常使用的反应气体称为：

A.气相反应物

B.水汽

C.真空

D.电流

2.ALD设备中，用于控制气体流速的装置是：

A.涡轮

B.气阀

C.电机

D.水泵

3.ALD设备