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反铁电式MEMS薄膜驱动器的制作与性能测试

摘要

反铁电材料具有良好的铁电性、热释电性、电光及非线性光学等特性，因此成为智能传感和致动系统中的关键材料。本文主要研究了反铁电式MEMS薄膜驱动器的结构及原理，反铁电材料基本原理，反铁电式MEMS薄膜驱动器关键工艺，反铁电式MEMS薄膜驱动器的结构及原理反铁电式MEMS薄膜驱动器工艺流程，反铁电MEMS薄膜驱动器的制作工艺反铁电式MEMS薄膜驱动器的结构及原理，反铁电式MEMS薄膜驱动器的性能测试，反铁电薄膜的铁电性能，反铁电式MEMS薄膜驱动器的测试原理及方法，反铁电式MEMS薄膜驱动器的