基于混合模拟的射频容性耦合SiH4/Ar放电电子动理学特性研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与工业技术的发展进程中，射频容性耦合反应性气体放电（Radio-FrequencyCapacitivelyCoupledReactiveGasDischarges）作为一项关键技术，在材料加工、半导体制造、表面处理等诸多领域展现出了不可或缺的重要性。

在材料加工领域，利用射频容性耦合反应性气体放电可以实现对材料表面的精确改性，通过等离子体与材料表面的相互作用，改变材料表面的化学成分、微观结构和物理性质，从而提高材料的耐磨性、耐腐蚀性、生物相容性等性能，拓宽材料的应用范围。在半