基于显微干涉术与AFM的薄膜力学性能表征体系构建与应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，薄膜材料在众多领域得到了广泛应用，其性能对相关器件的功能和可靠性起着至关重要的作用。在微机电系统（MEMS）中，薄膜作为构建微小机械结构和电子元件的基础材料，其力学性能直接影响着MEMS器件的工作稳定性和寿命。例如，在加速度传感器、压力传感器等MEMS传感器中，薄膜的弹性模量、硬度和内应力等力学参数决定了传感器的灵敏度和精度。若薄膜的力学性能不佳，可能导致传感器在工作过程中出现漂移、误差增大甚至失效等问题。

在生物医学装置领域，薄膜材料被用于制造药物缓释载体、生物传感器