基本信息
文件名称：T_CASAS 036-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法.docx
文件大小：70.45 KB
总页数：19 页
更新时间：2025-08-05
总字数：约7.44千字
文档摘要
ICS31.030
CCSQ50/59
团体标准
T/CASAS036—2025
碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法辉光放电质谱法
Testmethodforpurityofiso-staticgraphitecomponentsusedinthe
growthofsiliconcarbidesinglecrystals-Glowdischarg