基本信息
文件名称：T_CASAS 036-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法.pdf
文件大小：4.78 MB
总页数：13 页
更新时间：2025-08-05
总字数：约1.06万字
文档摘要
ICS31.030
CCSQ50/59CASA
第三代半导体产业技术创新战略联盟
innovationalliance
团体标准
碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测
定方法