基本信息
文件名称：T_CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范.pdf
文件大小：16.52 MB
总页数：23 页
更新时间：2025-08-05
总字数：约2.6万字
文档摘要
ICS13.100
CCSH09
团体标准
三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范
reductionmethod
2025-03-03发布
中国化学品安全协会发布
中国标准出版社出版
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围……