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半导体气体传感器的发展综述

1.1半导体气体传感器的分类

气体传感器经过几十年的研究和发展，虽然种类非常多，应用范围非常广，但至今没有完全统一的分类标准。目前，半导体气体传感器应用范围是最广的，主要应用于家庭和工厂的可燃性气体检测中[83]。半导体气体传感器主要分为电阻式和非电阻式。其中，电阻式气体传感器的原理是气体分子与敏感材料反应，捕获自由电子导致电导率的变化，继而使其电阻发生变化来检测目标气体的成分或者浓度的，在实际的应用和研究中占绝大多数；非电阻性半导体气体传感器则是利用晶体管的特性发生变化来检测气体，如场效应的阈值电压、电容-电压的变化[71]。

直热式传感器主要是由三个部分组成