四电极一体化MEMS电化学地震检波器：设计创新与制作工艺研究

一、引言

1.1研究背景与意义

地震，作为自然界极具破坏力的灾害之一，往往在瞬间就能使繁华的城市化为废墟，夺走无数人的生命，对人类社会的发展和稳定构成了严重威胁。1976年的唐山大地震，里氏7.8级，整个城市几乎被夷为平地，造成24.2万多人死亡，16.4万多人重伤，给当地带来了毁灭性的打击；2008年的汶川地震，震级高达里氏8.0级，地震波及大半个中国及亚洲多个国家和地区，共造成69227人遇难、17923人失踪、374643人不同程度受伤、1993.03万人失去住所，直接经济损失8451.4亿