基本信息

---

下载

文档摘要

---

2025年半导体设备研发：关键技术创新路线分析报告模板

一、2025年半导体设备研发：关键技术创新路线分析报告

1.1.行业背景

1.1.1全球半导体产业规模持续扩大，市场潜力巨大

1.1.2我国政府高度重视半导体产业发展

1.1.3我国半导体设备产业链尚不完善，关键核心技术受制于人

1.2.技术创新路线

1.2.1光刻设备技术创新

1.2.2刻蚀设备技术创新

1.2.3清洗设备技术创新

1.2.4检测设备技术创新

1.2.5封装设备技术创新

二、半导体设备研发的关键技术发展趋势

2.1光刻设备技术发展趋势

2.1.1分辨率提升

2.1.2光源技术革新

2.1.3光刻机