基本信息

---

下载

文档摘要

---

半导体设备研发2025年新型检测技术路线探索

一、半导体设备研发2025年新型检测技术路线探索

1.1技术创新驱动

1.1.1光刻机检测技术

1.1.2晶圆检测技术

1.2检测设备自主研发

1.2.1检测设备国产化

1.2.2检测设备性能提升

1.3检测标准体系建设

1.3.1制定国家标准

1.3.2推动国际标准制定

1.4产业链协同发展

1.4.1产学研合作

1.4.2产业链上下游企业协同

二、半导体设备研发检测技术发展趋势分析

2.1新型检测技术与应用

2.1.1人工智能与大数据在检测中的应用

2.1.2纳米级检测技术的突破

2.1.3光学检测技术的进步

2