基本信息
文件名称：碳化硅陶瓷晶舟注浆成型浆料-编制说明（征求意见稿）.docx
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总页数：12 页
更新时间：2025-08-06
总字数：约5.13千字
文档摘要
碳化硅陶瓷晶舟注浆成型浆料
Siliconcarbideceramiccrystalwaferboatslipcastingslurry
编制说明
碳化硅陶瓷晶舟注浆成型浆料
团体标准编制说明
一、目的和意义
碳化硅陶瓷晶舟是半导体集成电路（IC）制程中用作晶圆传送及加工的承载工具，因具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大、抗腐蚀性强、耐高温，且不易产生弯曲应力变形和热应变等特性，能够适应晶圆制造环节超高温、强腐蚀性的恶劣反应环境，因此成为目前用于晶圆生产的主流产品，应用前景广阔。
目前，碳化硅陶瓷晶舟普遍采用注浆成型工艺制备。在碳化硅陶瓷晶舟注浆成型过