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纳米绝缘薄膜概述

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TOC\o1-3\h\u10244纳米绝缘薄膜概述 1

199681.1纳米薄膜发展历程 1

33961.2纳米薄膜的分类 1

318711.3纳米薄膜的功能性能 2

96411.4常用的薄膜制备方法 3

30181.5常用的薄膜表征手段 5

纳米薄膜是指尺寸在nm量级的颗粒（晶粒）构成的薄膜或者厚在nm量级的薄膜，它兼具传统复合材料和现代纳米材料二者的优越性。纳米薄膜能够通过减少振动，降低噪声，减小摩擦，延长寿命来改善一些材料表面的性能。这些薄膜在很多领域作为耐磨、耐腐蚀涂层及其它功能涂层获得重要应用。

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