KrF光刻机（氟化氪光刻机）为DUV光刻机细分产品国家政策推动行业发展速度加快

????KrF光刻机，又称氟化氪光刻机，指以氟化氪（KrF）准分子激光作为曝光光源而制成的光刻机。KrF光刻机工作流程包括激光光源产生、光束整形传输、掩模投影成像以及光刻胶化学反应等，具备工艺适应性强、套刻精度高、运行成本低等特点，半导体制造领域为其主要需求端。

?????近年来，国家对于高端光刻机行业发展高度重视，已出台多项相关政策。2024年9月，国家工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，文件明确将氟化氪光刻机以及氟化氩光刻机等集成电路生产装备纳入电子专用装备目