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文档摘要

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基于透射电子显微学的钙钛矿铁电薄膜结构与缺陷解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子器件的持续演进历程中，新型材料的研发与性能优化始终是推动技术突破的关键驱动力。钙钛矿铁电薄膜作为一类具有独特物理性质和广阔应用前景的功能材料，近年来在电子器件领域中展现出了非凡的潜力，吸引了众多科研工作者的广泛关注。

钙钛矿铁电薄膜具备一系列优异的特性，这些特性使其在非易失性存储器（FRAM）、铁电随机存取存储器（FeRAM）、传感器、压电驱动器以及光伏器件等诸多关键电子器件中扮演着不可或缺的角色。以非易失性存储器为例，铁电薄膜所具有的工作电压低、读写速度快以及较好的耐久性等突出优点，能够显著提升存储