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文档摘要

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半导体设备研发2025：技术路线选择与产业协同范文参考

一、半导体设备研发2025：技术路线选择与产业协同

1.1技术发展趋势

1.1.1摩尔定律的放缓

1.1.2智能化、自动化和绿色化

1.2技术路线选择

1.2.1技术创新

1.2.2产业链协同

1.2.3国际化布局

1.3产业协同策略

1.3.1政策支持

1.3.2产学研合作

1.3.3产业链整合

二、半导体设备研发的关键技术领域

2.1先进光刻技术

2.1.1极紫外光（EUV）光刻技术

2.1.2纳米压印技术（NANOIMPRINTING）

2.1.3光刻胶和光源技术的创新

2.2刻蚀技术

2.2.1干