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文档摘要

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高精度干涉式双光栅位移测量技术：原理、应用与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的迅猛发展进程中，位移测量技术作为基础且关键的技术，广泛而深入地渗透到诸多领域，对各领域的发展起着至关重要的支撑作用。在工业制造领域，位移测量技术是实现精密加工与质量控制的核心要素。例如在航空发动机叶片的制造过程中，其复杂的曲面形状和高精度的尺寸要求，使得对加工过程中刀具与工件之间的位移进行精确测量成为必然。通过精确测量位移，能够实时监控加工状态，及时调整加工参数，从而确保叶片的制造精度符合严格标准，保证航空发动机的高性能与可靠性。又比如在高端数控机床的生产中，高精度的位移测量系统能够保证机床在加