集成电路制造技术集成电路制造技术JICHENGDIANLUZHIZAOJISHU——原理与工艺哈尔滨工业大学/田丽

外延第二章外延JICHENGDIANLUZHIZAOJISHU

2.1概述目录CONTENTS2.2气相外延2.3分子束外延2.4其它外延2.5外延层缺陷及检测

一、概述1.1什么是外延“外延”一词来自于希腊文Epitaxy，是指“在……上排列”外延工艺，指在晶体上用化学或物理方法规则地再排列所需晶体材料。外延层与衬底晶向相同，但掺杂类型、电阻率、材料可以不同。衬底外延层GaAs/Si如n-/n+-Si，n/p