基本信息

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文档摘要

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半导体工艺技术

目录

●第一章：半导体产业介绍

●第二章：器件的制造步骤

●第三章：晶圆制备

●第四章：芯片制造

●第五章：污染控制

●第六章：工艺良品率

第一章半导体产业介绍

·概述

微电子从40年代末的第一只晶体管(Ge合金管)问世，50年代中期出现了硅平面工艺，此工艺不仅成为硅晶体管的基本制造工艺，也使得将多个分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为可能，随着制造工艺水平的不断成熟，使微电子从单只晶体管发展到今天的ULSI。

回顾发展历史，微电子技术的发展不外乎包括两个方面：制造工艺和电路设计，而这两个又是相互相成，互相促进，共同发展。

1.1半导体工