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超低本底α粒子测量装置标准发展研究报告

DevelopmentReportonStandardsforUltra-LowBackgroundAlphaParticleMeasurementDevices

摘要

随着半导体工艺向纳米级发展，α粒子电离效应引发的单粒子效应已成为影响电子器件可靠性的关键因素。本报告基于广东省重点研发计划项目（2020B0404020005），系统分析了超低本底α粒子测量装置标准化的必要性。研究表明，现行GB/T11682-2008标准已无法满足5×10??α/(cm2·h)级超低本底测量需求，亟需建立新的技术规范。报告详细阐述了标准制定的技术内