高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法标准发展报告

DevelopmentReportonNear-InfraredMicroscopicInterferometryforHighAspectRatioMicrostructureMorphologicalParameters

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，高深宽比微结构在导航级陀螺仪、加速度计、压力传感器等高端器件中的应用日益广泛。然而，传统的电镜扫描检测方法存在成本高、效率低、破坏性等问题，严重制约了MEMS器件的工业化生产与质量控制。为此，本标准提出了一种基于近红外低相干显微干涉法的无损检测