基本信息

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文档摘要

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T/ZJBDTXXXX—XXXX

高温扩散炉用硅制晶舟

1范围

本文件规定了高温扩散炉用硅制晶舟的硅材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存、随行文件和质量承诺。

本文件适用于硅单晶、硅多晶以拼接式、熔接式方式加工而成的高温扩散炉用直径150～350mm的硅制晶舟。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T14264半导体材料术语

GB/