4.2.2电阻式气体传感器的结构2．薄膜型气敏元件薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法，在石英或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜（厚度0.1μm以下），构成薄膜型气敏元件。氧化锌ZnO薄膜型气敏元件以石英玻璃或陶瓷作为绝缘基片,通过真空镀膜在基片上蒸镀锌金属，用铂或钯膜作引出电极，最后将基片上的锌氧化。氧化锌敏感材料是N型半导体，当添加铂作催化剂时，对丁烷、丙烷、乙烷等烷烃气体有较高的灵敏度，而对H2、CO2等气体灵敏度很低；若用钯作催化剂时，对H2、CO有较高的灵敏度，而对烷烃类气体灵敏度低。4.2.2电阻式气体传感器的结构3．厚膜型气敏元件厚膜型气敏元件将气敏材料（如Sn