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文档摘要

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半导体生产环境温湿度控制的智能化系统集成研究考核试卷

考生姓名：答题日期：得分：判卷人：

本次考核旨在评估考生对半导体生产环境温湿度控制的智能化系统集成研究的掌握程度，考察考生对相关理论、技术及实际应用的理解与运用能力。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.半导体生产环境中，温湿度控制系统的核心是（）。

A.温湿度传感器

B.控制器

C.执行器

D.通信模块

2.在半导体生产环境中，下列哪种温湿度控制方式最常用？（）

A.开环控制

B.闭环控制

C.半闭环控制