拍频Fabry-Perot激光干涉测量系统：控制方法与软件设计的深度探索

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学研究和工业生产中，对各种物理量的精确测量至关重要，它是推动技术进步和保证产品质量的关键因素之一。激光干涉测量系统凭借其高精度、高分辨率以及非接触式测量等显著优势，在众多领域中发挥着不可或缺的作用，已然成为精密测量领域的核心技术手段。从微观尺度的纳米级测量，如半导体芯片制造过程中对线路宽度、芯片平整度的精确把控，到宏观尺度的千米级测量，像大型天文望远镜的光学组件装配、航空航天领域飞行器部件的制造与检测等，激光干涉测量系统都展现出了卓越的性能。在物理学研究领域，激光干涉测量系统是