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文件名称:55790《表面工程学(第2版)》第十章气相沉积课件.ppt
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总页数:58 页
更新时间:2025-08-11
总字数:约5.71千字
文档摘要

聚四氟乙烯薄膜的润滑特性不受环境湿度的影响,可长期在大气环境中使用,是一种很有发展前途的固体润滑剂。其使用温度上限为50℃,低于-260℃时才失去润滑性。长时间放置后性能变化不大,是较为理想的固体润滑剂。溅射法制取聚四氟乙烯膜英国Teer涂层公司(1)磁控溅射沉积设备靶车间Teer合资公司:浙江汇锦梯尔公司英国Teer涂层公司(2)各种类型的涂层在镀膜室内引入等离子体,克服了沉积粒子能量低、膜层结合力不高和沉积速率低等缺点。三、离子镀膜1离子镀膜原理在真空条件下,气体放电使气体和被蒸发物质的粒子部分电离,离子轰击基材表