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文档摘要

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形状记忆合金驱动微泵：原理、应用与挑战的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，微机电系统（MEMS）作为一个前沿领域，正深刻地改变着人们的生活和工业生产方式。微机电系统是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型器件或系统，其特征尺寸一般在几微米到几毫米之间，甚至更小。它融合了电子、机械、材料、化学、光学等多学科的技术，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快、可靠性高、成本低等诸多优点，在医疗、电子、航空航天、汽车、生物工程等众多领域展现出了巨大的应用潜力。

在微机电系统中，微泵作为一种关键的微流体驱动元件，扮演着至关重要