基于场效应管检测的新型纳机电谐振器：原理、制备与性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微纳机电系统（MEMS/NEMS）已成为当今科学研究和技术创新的前沿领域。其中，纳机电谐振器作为MEMS/NEMS的关键组成部分，因其在极小尺寸下展现出的独特物理特性和卓越性能，受到了广泛的关注和深入的研究。

纳机电谐振器的应用前景极为广阔，在众多领域都发挥着重要作用。在生物医学领域，它可用于生物分子检测和疾病诊断。由于其具有极高的灵敏度，能够检测到极其微量的生物分子，为早期疾病诊断提供了有力的工具。例如，在癌症早期检测中，纳机电谐振器可以通过检测血液或其他生物样本中的特定生物标