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2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业发展范文参考

一、2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业发展

1.1技术路线选择

1.1.1技术创新是推动半导体设备研发的核心动力

1.1.2针对我国半导体设备研发的现状，以下技术路线可供参考

1.2产业发展

1.2.1政策支持是推动半导体设备产业发展的关键

1.2.2产业发展应关注以下几个方面

二、半导体设备研发的技术创新策略

2.1技术创新的关键领域

2.1.1光刻技术

2.1.2刻蚀技术

2.1.3沉积技术

2.2技术创新的发展路径

2.2.1基础研究

2.2.2人才培养

2.2.3产业链协同

2.3技术创新