基于影响矩阵的瑞奇-康芒面形恢复方法的精度提升与应用拓展研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学检测领域，大口径平面镜的面形测量对于众多光学系统的性能起着关键作用，如天文望远镜、空间光学系统等。瑞奇-康芒（Ritchey-Common）法作为一种经典的光学检测方法，能够利用小口径干涉仪实现对大口径平面镜的面形精度测量，有效降低了检测成本，在光学检测领域中具有十分重要的意义。该方法通过将干涉仪发出的光束斜入射到待测平面镜上，利用标准球面镜构建检测光路，通过检测系统波像差来反推平面镜面形。

在瑞奇-康芒检测中，从系统波像差中精确恢复平面镜面形是关键环节。影响矩阵法是瑞奇