基于LabVIEW与输入整形算法的气悬浮平台抑振技术深度剖析与实践

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代工业生产和科学研究中，高精度的运动控制平台是实现各类精密操作的关键设备。气悬浮平台作为一种利用气体静压或动压原理，使运动部件与支撑表面之间形成一层气膜，从而实现无接触悬浮运动的精密设备，凭借其无摩擦、高精度、高速度、长寿命等显著优势，在半导体制造、光学检测、航空航天等众多领域得到了广泛应用。

在半导体制造过程中，芯片制造对光刻设备的精度要求极高，气悬浮平台能够为光刻设备提供稳定、高精度的运动控制，确保芯片图案的精确转移，从而提高芯片的性能和生产效率。在光学检测领域，气悬浮平台可用于承载