基本信息

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文档摘要

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显微结构光照明：解锁微纳结构三维形貌检测的创新密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的迅猛发展进程中，微纳结构凭借其独特的物理、化学和生物学特性，在众多领域展现出至关重要的作用。从集成电路中尺寸不断缩小以提升性能的芯片，到生物医学领域用于疾病诊断与治疗的纳米传感器，从高效太阳能电池中增强光捕获和电荷传输效率的微纳结构设计，到信息存储领域实现更高存储密度和更快读写速度的新型存储介质，微纳结构的身影无处不在，成为推动这些领域进步的关键因素。

微纳结构的三维形貌作为其重要的特征参数，与微纳器件的性能和应用效果紧密相连。以集成电路芯片为例，晶体管的三维形貌直接影响电子的传输效率和芯片的运行