超精密机床液压支承主轴振动特性与基础隔振的深度剖析与优化策略

一、引言

1.1研究背景

在现代制造业持续追求高精度、高性能产品的进程中，超精密机床扮演着无可替代的关键角色，已然成为衡量一个国家制造业水平与科技实力的重要标志。其凭借着微米乃至纳米级别的加工精度，在半导体制造、航空航天、光学仪器、生物医疗等众多高端领域得到广泛应用，有力推动了各领域的技术创新与产品升级。以半导体制造领域为例，芯片制造工艺不断朝着更小线宽、更高集成度的方向发展，这就要求超精密机床能够实现纳米级别的加工精度，从而确保芯片的性能与可靠性。在航空航天领域，为了满足飞行器轻量化、高性能的需求，需要超精密加工出各种复杂形状