基本信息

---

下载

文档摘要

---

电子束曝光技术：解锁超导纳米线单光子探测器的制备密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的进程中，单光子探测技术作为量子通信、量子计算等前沿领域的核心支撑，正引领着众多科学研究与应用的突破，其重要性不言而喻。超导纳米线单光子探测器（SuperconductingNanowireSingle-PhotonDetector，SNSPD），凭借其独特的超导特性，在众多单光子探测器中脱颖而出，成为近年来的研究热点。自2001年俄罗斯莫斯科师范大学Gol’tsman小组首次利用5nm厚度的氮化铌（NbN）薄膜制成的单根直纳米线条成功实现从可见光到近红外光子的探测以来，