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特气系统基础知识培训课件
汇报人：XX
目录
壹
特气系统概述
陆
特气系统安全与法规
贰
特气系统组成
叁
特气种类与特性
肆
特气系统操作规范
伍
特气系统维护与保养
特气系统概述
壹
特气系统定义
特气系统由气体供应源、输送管道、阀门、检测设备等组成，确保气体安全稳定输送。
特气系统的组成
由于特气的特殊性，系统设计需符合严格的安全标准，防止泄漏和污染，保障人员安全。
特气系统的安全要求
特气系统主要功能是为半导体制造等高科技产业提供高纯度、稳定性的特种气体。
特气系统的功能
01
02
03
特气系统的重要性
特气系统通过严格控制气体的供应和排放，有效预防工业事故，确保生产环境的安全。
保障生产安全
特气系统的设计考虑了环保和节能，通过减少气体泄漏和优化循环利用，降低对环境的影响。
环境保护与节能
特气的高纯度和稳定性对半导体、光伏等高科技产品的质量至关重要，直接影响成品率。
提高产品质量
应用领域介绍
特气系统在半导体制造中至关重要，用于提供高纯度气体，保证芯片生产过程的精确性和可靠性。
半导体制造
在太阳能电池的生产过程中，特气系统用于提供和控制反应气体，对提高电池转换效率起着关键作用。
太阳能电池生产
特气系统在医疗设备，如呼吸机和麻醉机中，确保提供稳定且符合医疗标准的气体，保障患者安全。
医疗设备制造
特气系统组成
贰
主要组件介绍
特气系统中的气体供应源包括气瓶、液化气体容器等，它们储存和提供所需的特种气体。
气体供应源
气体净化设备用于去除气体中的杂质和湿气，确保气体的高纯度，如过滤器和干燥器。
气体净化设备
流量控制装置负责调节和监控气体的流动速率，包括流量计和调节阀等关键部件。
流量控制装置
安全保护系统包括压力释放阀、紧急切断阀等，用于防止系统过压和泄漏，保障操作安全。
安全保护系统
系统工作原理
特气系统通过管道和阀门控制气体的流向，确保气体安全、高效地输送到使用点。
气体输送机制
01
系统中的压力调节器确保气体在到达使用点之前保持恒定的压力，以满足工艺需求。
压力调节过程
02
特气系统配备有泄漏检测装置，一旦检测到气体泄漏，系统会自动报警并采取措施防止事故发生。
泄漏检测与报警
03
安全保护机制
特气系统中安装紧急切断系统，如泄漏或异常情况发生，可迅速切断气源，防止事故扩大。
紧急切断系统
安装气体检测器和报警系统，实时监测特气浓度，一旦超标即发出警报并采取相应措施。
气体检测报警
压力释放装置用于在系统压力超过安全阈值时自动释放压力，保护系统不受损害。
压力释放装置
特气种类与特性
叁
常见特气种类
惰性气体如氦气、氩气不活跃，常用于保护环境，防止其他气体反应。
惰性气体
腐蚀性气体如氯气、氟气具有强烈的化学活性，需特别处理以防设备损坏。
腐蚀性气体
半导体行业常用的气体包括磷化氢、硅烷，它们对电子产品的制造至关重要。
半导体制造气体
各类特气特性
惰性气体如氦气和氩气，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应，常用于保护气氛。
惰性气体的稳定性
在半导体制造中，气体如硅烷和磷化氢需要极高的纯度，以确保电子产品的质量与性能。
半导体行业用气体纯度
气体如氯气和氟气具有强烈的腐蚀性，能与多种材料发生化学反应，需特别处理和存储。
腐蚀性气体的反应性
特气存储与输送
特气储存设备
01
介绍特气储存的容器类型，如高压气瓶、低温液态罐等，以及它们的储存条件和安全要求。
输送管道材料
02
讨论不同特气输送管道所用材料的特性，例如不锈钢、铜或特殊合金，以及它们的耐腐蚀性和强度。
泄漏检测技术
03
概述用于检测特气系统泄漏的现代技术，如气体探测器、压力测试和声波检测等方法。
特气系统操作规范
肆
操作前的准备
确保穿戴适当的防护服、手套和护目镜，以防止特气泄漏时对操作人员造成伤害。
检查个人防护装备
在操作前检查特气系统的压力、温度等关键参数，确保系统处于安全运行状态。
确认系统安全状态
确认紧急切断阀、气体泄漏报警器等安全设施功能正常，以便在紧急情况下迅速响应。
检查紧急应对设施
系统操作步骤
在操作前，确保特气系统的所有组件完好无损，无泄漏，以保证操作安全。
检查系统完整性
按照操作手册预热系统，确保特气在输送前达到适宜的工作温度。
执行系统预热
实时监控系统压力，确保特气输送过程中压力保持在安全范围内，防止过压或欠压。
监控系统压力
详细记录每次操作的参数，包括温度、压力、流量等，以便于后续分析和故障排查。
记录操作数据
应急处理措施
中毒事故处理
泄漏事故应对
01
03
一旦发生中毒事故，应立即撤离受影响区域，为中毒者提供必要的医疗救助，并报告相关安全管理部门。
在特气系统发生泄漏时，应立即启动应急预案，疏散人员并使用专用设备进行泄漏控制。
02
若特气系统发生火灾，应