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微纳级切分边缘锐化技术对光学器件表面散射的影响研究

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、微纳级切分边缘锐化技术原理 3

1、技术基础理论框架 3

亚波长结构边缘重构数学模型 3

等离子体共振与近场增强耦合机制 5

2、技术实现方法与工艺 7

聚焦离子束双束协同加工参数 7

超快激光时空整形烧蚀阈值控制 8

二、光学表面散射特性形成机理 9

1、散射物理模型构建 9

米氏散射与瑞利散射转化边界条件 9

表面等离子激元色散关系修正 11

2、微纳结构特征影响机制 13

边缘曲率半径与电场分布相关性 13