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标准化工艺参数库在异质产线间的迁移适配难题

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、异质产线间技术差异对参数库迁移的影响 3

1、设备与工艺特性差异分析 3

产线技术架构差异（如控制系统/通信协议异构性） 3

硬件配置特性偏差（传感器精度/执行器类型差异） 5

2、工艺标准体系差异 6

工序划分与工艺节点定义不一致 6

质量控制指标体系的兼容性问题 8

二、跨产线参数迁移的技术瓶颈 12

1、数据维度转换难题 12

非标参数的数据结构适配问题 12

测量数据量纲体系转换损耗 13

2、工艺知识建模局限 15

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