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文档摘要

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汇报人：XXX时间：XXXX动能需求说明

目录01概要02性能指标03详细配置04动力以及空间要求05关键部件数量级品牌06售后服务计划07验收清单以及方法

系统描述本规格书描述了普诺逊真空应用于薄膜太阳能电池测试的真空镀膜设备P-200-S。01上述规格为标准配置，可根据实际需求进行定制调整。05第2.8条规格定义为腔体洁净干燥，腔室为室温；另极限真空为持续抽真空12小时，且都在氮气环境下进行。04本机为单体蒸镀腔设计，操作灵活方便。03本机应用基板尺寸为200mm*200mm，或者可以更小的客制化基板尺寸。02本系统遵守安全设计准则,采用国际通用安全标识符号。06

PARTONE一、概要