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半导体气体传感器概述

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TOC\o1-3\h\u17359半导体气体传感器概述 1

117951.1半导体气体传感器的分类 1

296011.2半导体气体传感器的敏感机理 2

48221.3半导体气体传感器研究现状 3

1.1半导体气体传感器的分类

气体传感器经过几十年的研究和发展，虽然种类非常多，应用范围非常广，但至今没有完全统一的分类标准。目前，半导体气体传感器应用范围是最广的，主要应用于家庭和工厂的可燃性气体检测中[70]。半导体气体传感器主要分为电阻式和非电阻式。其中，电阻式气体传感器的原理是气体分子与敏感材料反应，捕获自由电子导致电导率的