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文档摘要

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抗振干涉仪中短相干光源相干性测试方法的深度探究与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学测量领域，抗振干涉仪作为一种关键的精密测量仪器，被广泛应用于地震学、物理学等诸多领域的振动测量中。随着科技的不断进步，对测量精度和稳定性的要求愈发严苛，这使得抗振干涉仪的性能提升成为研究的焦点。而短相干光源在抗振干涉仪中扮演着不可或缺的角色，其相干性的优劣直接决定了抗振干涉仪的测量精度与稳定性。

传统干涉仪常采用激光光源，激光具有高相干性，在测量平行平板、棱镜等特殊光学元件时，会产生严重的串扰问题，导致测量结果不准确。例如，在对高精度光学镜片的平整度测量中，激光光源的高相干性使得镜片前后表面反射