微波电子回旋共振等离子体数值模拟：模型、方法与应用洞察

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，广泛存在于宇宙空间和地球上的各种自然现象中，如太阳、闪电、极光等。在人工环境下，等离子体也被大量应用于能源科学、空间科学、材料科学、电子学、医学等多个领域，发挥着不可或缺的作用。例如，在能源领域，核聚变研究致力于利用等离子体实现清洁能源的开发，有望解决人类未来的能源需求；在材料科学中，等离子体技术可用于材料表面改性、薄膜沉积、刻蚀等工艺，显著改善材料的性能和应用范围。随着各领域应用技术的飞速发展，对等离子体的性能和特性提出了更高的要求，如期望获得低气压、高密度的等离子体，以满足更