大规模真空蒸镀二氧化钛薄膜的制备、性能调控与全面表征研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，薄膜材料因其独特的性能和广泛的应用前景而备受关注。二氧化钛（TiO?）薄膜作为一种重要的功能薄膜材料，以其特殊的晶体结构和物理化学性质，在众多领域展现出了卓越的应用潜力。TiO?薄膜具有金红石、锐钛矿和板钛矿三种晶体结构，其中金红石相最为稳定。这种材料凭借良好的化学稳定性、低成本、耐腐蚀以及无毒等诸多优点，成为了一种极具价值的多功能材料。

从应用角度来看，TiO?薄膜的光催化性能使其在环境治理领域发挥着关键作用。在污水处理中，它能够利用光能将有机污染物分解为无害的小分子物质，从而实现水